附1中国国家电子级超纯水规格 GB/T11446.1-1997
| 电阻率
25℃
MΩ*cm | 硅
≤μg/L | 铜
≤μg/L | 锌
≤μg/L | 镍
≤μg/L | 钠
≤μg/L | 钾
≤μg/L | 氯
≤μg/L | >1μm颗粒
≤个/ml | 细菌
≤个/ml | 硝酸根
≤g/L | 磷酸根
≤μg/L | 硫酸根
≤μg/L | TOC
≤μg/L | EW-I | ≥18* | 2 | 0.2 | 0.2 | 0.1 | 0.5 | 0.5 | 1 | 0.1 | 0.01 | 1 | 1 | 1 | 20 | EW-II | ≥15 ** | 10 | 0 | 0 | 1 | 2 | 2 | 1 | 5 | 0.1 | 1 | 1 | 1 | 100 |
注*（95％时间不低于17），**（95％ 时间不低于13）
中国国家电子级超纯水GB/TII446.1－1997标准 指标/级别 | EW－Ⅰ | EW－Ⅱ | EW－Ⅲ | EW-Ⅳ | 电阻率 MΩ，cm(25℃) | 18以上，（95％时间）不低于17 | 15，（95％时间）不低于13 | 12.0 | 0.5 | 全硅，值,μg/L | 2 | 10 | 50 | 1000 | ＞1μm微粒数，值，个/mL | 0.1 | 5 | 10 | 500 | 细菌个数，值，个/mL | 0.01 | 0.1 | 10 | 100 | 铜，值，μg/L | 0.2 | 1 | 2 | 500 | 锌，值，μg/L | 0.2 | 1 | 5 | 500 | 镍，值，μg/L | 0.1 | 1 | 2 | 500 | 钠，值，μg/L | 0.5 | 2 | 5 | 1000 | 钾，值，μg/L | 0.5 | 2 | 5 | 500 | 氯，值，μg/L | 1 | 1 | 10 | 1000 | 硝酸根，值，μg/L | 1 | 1 | 5 | 500 | 磷酸根，值，μg/L | 1 | 1 | 5 | 500 | 硫酸根，值，μg/L | 1 | 1 | 5 | 500 | 总有机酸，值，μg/L | 20 | 100 | 200 | 1000 |
| 
